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半导体净化工程
  • 名称:

    半导体净化工程

  • 简介:

    半导体 组件空间单位都是以微米计算,因此微 尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上,便有可 能影响到其上精密导线布局的样式,造成短 路或断路的严重后果。所有半 导体制程设备都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中,这就是 半导体无尘车间的来由。

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半导体 组件空间单位都是以微米计算,因此微 尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上,便有可 能影响到其上精密导线布局的样式,造成短 路或断路的严重后果。所有半 导体制程设备都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中,这就是 半导体无尘车间的来由。

产品特点:

以下半 导体洁净无尘车间的相关的技术和使用管理办法:

1.半导体 洁净无尘车间内部要确保粉尘只出不进,因此洁 净无尘车间室内要保持大于大气压的环境。这就需 要用大型鼓风机将经净化设备的空气源源不绝地打入洁净车间中。

2.为保持恒温与恒湿,大型空 调设备须搭配前述之鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久,空调就得开多久。

3.所有经 净化设备的空气流动方向均由上往下为主,因此,洁净无 尘车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀,使尘埃 细菌等在洁净无尘车间内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。

4.所有建 材均以不易产生静电吸附的材质为主。

5.所有人 或事物进出洁净无尘车间,人必须穿配套防尘服,人或事 物都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘先行除掉。

6.半导体 洁净无尘车间内水的使用只限用去离子水。一则防 止水中粉粒污染晶圆,二则防 止水中重金属离子(如钾、钠离子)污染金 氧半晶体管结构之带电载子信道,影响半 导体组件的工作特性。去离子 水是最佳的溶剂与清洁剂,在半导 体工业之使用量极为惊人!

7.半导体 洁净无尘车间所有用得到的气源,包括吹 干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气 (98%),吹干晶 圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。

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